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產(chǎn)品介紹:

    合能陽(yáng)光硅芯電阻率測(cè)試儀(HS-SFRT)，是一款高端測(cè)量圓柱晶體硅電阻率測(cè)試儀器，可測(cè)量硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等，由于儀器大大消除了珀?duì)柼?yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等負(fù)效應(yīng)的影響，因此測(cè)試精度大大提高，量程實(shí)現(xiàn)了電阻率從10-4歐姆 . 厘米到10+4歐姆.厘米（可擴(kuò)展）的測(cè)試范圍。因此儀器具有測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好、測(cè)量范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)，是西門(mén)子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)、物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)、光伏及 半導(dǎo)體材料廠(chǎng)、器件廠(chǎng)、科研部門(mén)、高等院校以及需要超大量程測(cè)試電阻率測(cè)試的企業(yè)的最佳幫手。



產(chǎn)品特點(diǎn)：

■ 適合檢測(cè)硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等圓柱晶體硅

■ 適用于西門(mén)子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)

■ 適用于物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)

■ 適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導(dǎo)體器件企業(yè)

■ 適用于科研部門(mén)、高等院校及需要超大量程測(cè)量電阻率的企業(yè)

■ 儀器消除了珀?duì)柼?yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等負(fù)效應(yīng)的影響，因此測(cè)試精度大大提高

■ 測(cè)量精度高，除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能

■ 獨(dú)特的設(shè)計(jì)能有效消除測(cè)量引線(xiàn)和接觸電阻產(chǎn)生的誤差，   實(shí)現(xiàn)了測(cè)量的高精度和極寬的量程范圍 

■ 雙數(shù)字表結(jié)構(gòu)使測(cè)量更精確，操作更簡(jiǎn)便

■ 具有強(qiáng)大的測(cè)試數(shù)據(jù)查詢(xún)及打印功能

■ 測(cè)量系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、求平均值、最大值、最小值、平均百分變化率等

■ 四探針頭采用進(jìn)口紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測(cè)量重復(fù)性大大提高

■ 采用進(jìn)口元器件，留有更大的安全系數(shù)，大大提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命

■ 測(cè)量電流采用高度穩(wěn)定的特制恒流源（萬(wàn)分之五精度），不受氣候條件的影響

■ 具有正測(cè)反測(cè)的功能，保證測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性

■ 具有抗強(qiáng)磁場(chǎng)和抗高頻設(shè)備的性能



推薦工作條件：

■ 溫度：23±2℃

■ 濕度：≤65%

■ 無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾，電源隔離濾波，無(wú)強(qiáng)光直接照射



技術(shù)指標(biāo)：

■ 可測(cè)電阻率范圍： 5 × 10-5 — 5 × 1 0+5 Ω· cm （可擴(kuò)展）

■ 測(cè)量精度＜3%

■ AC 220V ± 10% 50/60 Hz 功率： 12W



典型用戶(hù)：

北京，浙江，四川，河北，河南等地的硅料生產(chǎn)企業(yè)及半導(dǎo)體光伏拉晶客戶(hù)